在變頻器維修過程中，經常需測量一些參數，如：輸入輸出電壓、電流、主回路直流電壓、各電路相關點的電壓、驅動信號的電壓與波形等。根據參數和波形情況來分析、判斷故障所在。比較基本的儀器設備有：
        指針式萬用表、數字式萬用表、示波器、頻率計、信號發生器、直流電壓源、驅動電路檢測儀、電動機、代負載等。
       1.輸出電壓不要用數字萬用表。數字式萬用浚的交流電壓檔，設計時用以測量Hz。
的正弦波信號的電壓。它是首先對被測量電壓進行采樣、然后模/數轉換，再由芯片進行相關處理。數字顯示被測電壓的數值。
        由于變頻器的輸出電壓是由PWM調制過的系列脈沖波，電平的平均值是通過脈沖占空比來進行調節的。而數字萬用表采樣的信號正是系列脈沖的峰值，變頻器維修人員稱變頻器輸出電壓的峰值是不變的；數字萬用表電壓檔不可能準確地測出系列脈沖波的平均值。
        同時，變頻器的載波頻率為1.5—15kHz，這樣的頻率將導致采樣和模／數轉換工作紊亂，也就不對能測出正確的變頻器輸出電壓值。
        2.示波器主要用來觀察各相關電路中，PWM信號的波形和變頻器的輸出波形。
        3.信號發生器要選擇具有方波波形輸出的型號，在檢查驅動電路是否正常工作時，以方波來代替PWM信號的。
        4.高壓自流電壓源的制作：可用巳無修理價值．但主回路中的整流和平滑電路又正常的變頻器作廢物利用，也可自已裝制專用直流電壓源。
        使用這種驅動電路檢測儀后，可以把驅動電路板從變頻器機內取出，單獨對驅動電路進行檢查，尋找故障很方便。
        6.通訊接口電路檢測儀。變頻器除用操作面板控制和外部控制外，在許多情況下，變頻器的控制是通過PLC或其他上位機進行。通訊接口電路的故障時有發生，通過通訊接口電路檢測儀，來檢查尋找通訊接口的故障。
        7.電動機代負載。變頻器的一些故障，如過流故障、過壓故障、過熱故障等等。電動機空載是反映不出的，修理過的變頻器通過電動機帶代負載運行以后，方能鑒定出是否排除了所有故障。
        8.紅外線測溫儀。用以測量變頻器內相關部分和部件在運行過程中的實際溫度。